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無塵烘箱/干燥箱

簡要描述:

無塵烘箱/干燥箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到溫度控制精度。

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無塵烘箱/干燥箱產品介紹:
無塵烘箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到溫度控制精度。
產品特點:
1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class100
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避
免烘烤時產生PARTICLE;
4.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.AFilter20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)
產品用途:
無塵工業烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。
無塵工業烤箱也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵烘箱/干燥箱產品參數:
1、箱體結構:
1.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統組裝而成,結構合理,外觀美觀大方;
1.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生微塵;
1.3箱體材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
1.4內膽材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生PARTICLE;
1.5中桶材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。
2、溫控系統
2.1采用日本OMRONE5A型溫度控制器,控制器LED數字顯示及設定、PID自動演算、薄膜設定,精確度±0.3%FS。;
2.2訊號來源:采日制進口CA感應棒±0.5%。
2.3輸出被控制組件:SSR無接點訊號輸出。
3、完善的安全保護措施:
漏電斷路器
控制線路保險絲裝置
超溫防止保護裝置
電熱過電流保護裝置
馬達過電流保護
機臺異常蜂鳴器警示
逆向防止器
門面安全開關
4、選購設備:
4.1可程式溫控器
4.2六點溫度記錄儀
4.3三色指示燈
4.4烘烤架

名稱及型號

無塵烘箱WCHX-2D

無塵等級

Class100

溫度范圍

60~+300℃

溫度均勻度

200℃±3℃、300℃±4℃

溫度波動度

±0.5℃(空載)

溫控精度

±0.1℃

電源

380v,50Hz,12Kw

烘箱擱板為活動形式

兩箱式

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